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分析:中国は液浸深紫外線リソグラフィー装置を343台備蓄している可能性がある

ChainCatcherのニュースによると、サウスチャイナ・モーニング・ポストによると、元米国当局者らは、中国の半導体工場が近年、数十億ドル相当の数百台の液浸リソグラフィー装置を蓄積していると述べ、米国政府とその同盟国に対し、さらなる輸出を停止するよう求めたという。 2026年8月に設立されたCenter for Technology & Statecraftは、中国の製造工場が2026年初頭までに約343台の液浸深紫外リソグラフィーシステムを入手したと推定する報告書を9月下旬に発表した。この報告書は、元米国輸出管理当局者のニコラス・ブラウン氏と元ホワイトハウス・商務省技術政策顧問のサイフ・カーン氏の共著である。

レポートによると、これらのユニットのうち約 270 台が ASML Twinscan NXT:1980i であると推定されています。著者は、これらの装置は極端紫外線リソグラフィー装置には遅れているものの、7ナノメートルのロジックチップや人工知能プロセッサー(ファーウェイのAscendシリーズを含む)の製造に必要な高度なメモリーに変換できると述べた。中国のウェーハファブは、2024年に約90台のNXT:1980iユニットを購入し、2025年にはさらに89台のNXT:1980iユニットを購入するために130億ドル以上を費やした。ASMLは、出荷先別の中国の純システム売上高の41%が2024年に41%、2025年には33%を占め、2026年第1四半期には19%、第2四半期には14%に低下すると発表した。

オランダは、NXT:2000i およびより高度な液浸深紫外装置の輸出許可を 2023 年 9 月から要求し、それ以来、これらのモデルは中国への出荷が事実上禁止されています。 1 年後、ライセンス要件は NXT:1980i に拡張されましたが、このモデルは依然としてケースバイケースで出荷が承認される可能性があります。

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